Pico
Diener electronic
Германия
Плазменные установки Pico могут комбинироваться в различных вариантах по типу модульной системы.
Области применения
- Аналитика (REM, TEM)
- Археология
- Автомобилестроение
- Отделы исследований и разработок
- Полупроводниковая техника
- Мелкосерийное производство
- Технология пластмасс
- Медицинская техника
- Микросистемная техника
- Сенсорная техника
- Стерилизация
- Текстильные технологии
Базовое оснащение
Размеры корпусов варьируются в зависимости от компонентов/опций
- Объем камеры: 4 - 15 литров (в зависимости от версии)
- Электропитание: 230 В для настольного устройства, 400 В / 3 фазы для напольного устройства
Подача газа
- Игольчатые клапаны
- Mass-Flow-Controller (MFCs)
Вакуумные камеры
- Высококачественная сталь, круглая форма, с крышкой
(прибл. ∅ 150 мм, длина 320 мм или 600 мм) - Высококачественная сталь, прямоугольная форма, дверца на петлях
(Ш 160 мм x В 160 мм x Г 325 мм или 600 мм) - Алюминий, прямоугольная форма, дверца на петлях
(прибл. ∅ 160 мм x 160 мм , длина 325 мм или 600 мм) - Кварцевое стекло (UHP), круглая форма с крышкой или дверцей на петлях
(прибл. ∅ 130 мм, длина 300 мм или 600 мм) - Боросиликатное стекло (UHP), круглая форма с крышкой или дверцей на петлях
(прибл. ∅ 130 мм, длина 300 мм или 600 мм)
Загрузка
Носители материала (опция: водяное охлаждение), лодочки из кварцевого стекла, вращающиеся барабаны для порошка, вращающиеся барабаны для насыпных материалов, алюминиевый лист, стальной лист, боросиликатное или кварцевое стекло
Электроды
- Одно- или многоярусные
- RIE
Измерение давления
- Датчик Пирани
- Емкостный манометр (исполнение для коррозионных газов)
Таймер
Цифровой
Генераторы
Частоты:
- 40 кГц: мощность 0 - 200 Вт; 0 -1000 Вт
- 100 кГц: мощность 500 Вт
- 80 кГц: мощность 1000 Вт
- 13,56 МГц: мощность 0 - 100 Вт; 0 - 300 Вт
- 2,45 ГГц: мощность 0 - 300 Вт
- Все генераторы с бесступенчатой регулировкой 0 - 100 %
Вакуумные насосы
Разных размеров и разных производителей (при необходимости с угольным фильтром)
Опции
Комплекты запчастей, измеритель давления, исполнение для коррозионных газов, газовые баллоны, редукторы давления, нагревательная пластина, индикатор температуры, обогреваемая камера, клетка Фарадея, аксессуары для плазменной полимеризации, тестовые чернила, генератор кислорода, медленная подача воздуха, медленная откачка, фланец для проб TEM, техническое/сервисное обслуживание, документация на языке страны эксплуатации, монтаж и обучение на месте эксплуатации. Другие опции по запросу
Характеристики
Базовое оснащение
Размеры корпусов варьируются в зависимости от компонентов/опций
- Объем камеры: 4 - 15 литров (в зависимости от версии)
- Электропитание: 230 В для настольного устройства, 400 В / 3 фазы для напольного устройства
Подача газа
- Игольчатые клапаны
- Mass-Flow-Controller (MFCs)
Вакуумные камеры
- Высококачественная сталь, круглая форма, с крышкой
(прибл. ∅ 150 мм, длина 320 мм или 600 мм) - Высококачественная сталь, прямоугольная форма, дверца на петлях
(Ш 160 мм x В 160 мм x Г 325 мм или 600 мм) - Алюминий, прямоугольная форма, дверца на петлях
(прибл. ∅ 160 мм x 160 мм , длина 325 мм или 600 мм) - Кварцевое стекло (UHP), круглая форма с крышкой или дверцей на петлях
(прибл. ∅ 130 мм, длина 300 мм или 600 мм) - Боросиликатное стекло (UHP), круглая форма с крышкой или дверцей на петлях
(прибл. ∅ 130 мм, длина 300 мм или 600 мм)
Загрузка
Носители материала (опция: водяное охлаждение), лодочки из кварцевого стекла, вращающиеся барабаны для порошка, вращающиеся барабаны для насыпных материалов, алюминиевый лист, стальной лист, боросиликатное или кварцевое стекло
Электроды
- Одно- или многоярусные
- RIE
Измерение давления
- Датчик Пирани
- Емкостный манометр (исполнение для коррозионных газов)
Таймер
Цифровой
Генераторы
Частоты:
- 40 кГц: мощность 0 - 200 Вт; 0 -1000 Вт
- 100 кГц: мощность 500 Вт
- 80 кГц: мощность 1000 Вт
- 13,56 МГц: мощность 0 - 100 Вт; 0 - 300 Вт
- 2,45 ГГц: мощность 0 - 300 Вт
- Все генераторы с бесступенчатой регулировкой 0 - 100 %
Вакуумные насосы
Разных размеров и разных производителей (при необходимости с угольным фильтром)
Опции
Комплекты запчастей, измеритель давления, исполнение для коррозионных газов, газовые баллоны, редукторы давления, нагревательная пластина, индикатор температуры, обогреваемая камера, клетка Фарадея, аксессуары для плазменной полимеризации, тестовые чернила, генератор кислорода, медленная подача воздуха, медленная откачка, фланец для проб TEM, техническое/сервисное обслуживание, документация на языке страны эксплуатации, монтаж и обучение на месте эксплуатации. Другие опции по запросу