ИНДУСТРИЯ М
FR-uProbe

FR-uProbe

Thetametrisis

Греция

FR-uProbe – система, позволяющая определять характеристики покрытий при размере пятна в несколько микрометров. Ее можно применять при работе с микроструктурированными поверхностями, образцами с неров-ным покрытием и высоким уровнем рассеивания, и т.п.

С FR-uProbe определить локальную толщину пленки, оптические постоянные, отражающие, пропускающие и поглощающие параметры в УФ, видимом и около инфракрасном спектре можно буквально за один клик.

Области применения

  • Университеты и научно-исследовательские лаборатории
  • Полупроводники (оксиды, нит-риды, кремний, характеристики резистивного слоя и пр.)
  • Микроэлектромеханические системы
    (фоторезисты, кремни-евые мембраны и пр.)
  • Светодиоды
  • Хранение данных
  • Анодизация
  • Стойкие и нестойкие покрытия на нелинейных основах
  • Полимерные покрытия, адгезивы и пр.
  • Биомедицина (парилен, бал-лонные катетеры и пр.)

FR-uProbe устанавливается на большинство современных оптических микроскопов при помощи стандартного резьбового соединения, обеспечивая обширный функционал:

  • Спектральные измерения в реальном времени
  • Определение толщины, оптических свойств и неоднородности пленок
  • Создание высококачественных изображений при помощи встроенной USB-камеры
  • Отсутствие влияния на работу самого микроскопа

Основные характеристики

  • Анализ «в один клик» (нет необходимости вносить при-ближенные значения)
  • Динамические измерения
  • Встроенная USB-камера
  • Возможность сохранять видео для презентаций
  • Свыше 350 различных материалов
  • Бесплатное обновление программного обеспечения на протяжении 3 лет
  • Совместимость с Windows 7 / 8 / 10
FR-Mic UV/Vis FR-uProbe FR-Mic UV/NIR
Спектральный диапазон       200-850 нм 370-1020 нм 200-1700 нм
Диапазон измерений толщины Объектив с 5-кратным увеличением - 20 нм – 70 мкм 20 нм – 120 мкм
Объектив с 10-кратным увеличением - 20 нм – 50 мкм 20 нм – 90 мкм
Объектив с 15-кратным увеличением 5 нм – 20 мкм - 5 нм – 60 мкм
Объектив с 20-кратным увеличением - 20 нм – 20 мкм 20 нм – 40 мкм
Объектив с 50-кратным увеличением - 20 нм- 10 мкм 20нм – 20 мкм
Расчет коэффициента преломления ✔ ✔ ✔
Минимальная толщина для определения оптических постоянных 50 нм 100 нм 50 нм
Точность измерений 0,2% или 1 нм 0,2% или 2 нм 0,2% или 2 нм
Воспроизводимость измерений 0,05 нм или 1‰ 0,05 нм или 1‰ 0,05 нм или 1‰
Устойчивость измерений 0,06 нм 0,06 нм 0,06 нм
Совместимость со стандартным микроскопом Нет Да Нет


Область измерений (площадь, с которой собираются данные о сигнале отражения или пропускания)
относительно объектива микроскопа и размера отверстия FR-uProbe

Объектив Размер пятна (мкм)
  Отверстие 500 мкм Отверстие 250 мкм Отверстие 100 мкм
5x 100 мкм 50 мкм 20 мкм
10x 50 мкм 25 мкм 10 мкм
20x 25 мкм 17 мкм 5 мкм
50x 10 мкм 5 мкм 2 мкм

Ахроматический отражательный спектрометр измеряет количество света, которое отражает однослойная или многослойная пленка при различных длинах волны при перпендикулярном освещении образца. Полученный путем интерференции спектр отражения позволяет определить толщину, оптические постоянные (n и k) и прочие па-раметры обособленных или нанесенных на прозрачную, частично или полностью отражающую основу пленочных структур.

FR-uProbe-RU.pdf

Загрузить

Основное

FR-uProbe устанавливается на большинство современных оптических микроскопов при помощи стандартного резьбового соединения, обеспечивая обширный функционал:

  • Спектральные измерения в реальном времени
  • Определение толщины, оптических свойств и неоднородности пленок
  • Создание высококачественных изображений при помощи встроенной USB-камеры
  • Отсутствие влияния на работу самого микроскопа

Основные характеристики

  • Анализ «в один клик» (нет необходимости вносить при-ближенные значения)
  • Динамические измерения
  • Встроенная USB-камера
  • Возможность сохранять видео для презентаций
  • Свыше 350 различных материалов
  • Бесплатное обновление программного обеспечения на протяжении 3 лет
  • Совместимость с Windows 7 / 8 / 10

Характеристики

FR-Mic UV/Vis FR-uProbe FR-Mic UV/NIR
Спектральный диапазон       200-850 нм 370-1020 нм 200-1700 нм
Диапазон измерений толщины Объектив с 5-кратным увеличением - 20 нм – 70 мкм 20 нм – 120 мкм
Объектив с 10-кратным увеличением - 20 нм – 50 мкм 20 нм – 90 мкм
Объектив с 15-кратным увеличением 5 нм – 20 мкм - 5 нм – 60 мкм
Объектив с 20-кратным увеличением - 20 нм – 20 мкм 20 нм – 40 мкм
Объектив с 50-кратным увеличением - 20 нм- 10 мкм 20нм – 20 мкм
Расчет коэффициента преломления ✔ ✔ ✔
Минимальная толщина для определения оптических постоянных 50 нм 100 нм 50 нм
Точность измерений 0,2% или 1 нм 0,2% или 2 нм 0,2% или 2 нм
Воспроизводимость измерений 0,05 нм или 1‰ 0,05 нм или 1‰ 0,05 нм или 1‰
Устойчивость измерений 0,06 нм 0,06 нм 0,06 нм
Совместимость со стандартным микроскопом Нет Да Нет


Область измерений (площадь, с которой собираются данные о сигнале отражения или пропускания)
относительно объектива микроскопа и размера отверстия FR-uProbe

Объектив Размер пятна (мкм)
  Отверстие 500 мкм Отверстие 250 мкм Отверстие 100 мкм
5x 100 мкм 50 мкм 20 мкм
10x 50 мкм 25 мкм 10 мкм
20x 25 мкм 17 мкм 5 мкм
50x 10 мкм 5 мкм 2 мкм

Принцип действия

Ахроматический отражательный спектрометр измеряет количество света, которое отражает однослойная или многослойная пленка при различных длинах волны при перпендикулярном освещении образца. Полученный путем интерференции спектр отражения позволяет определить толщину, оптические постоянные (n и k) и прочие па-раметры обособленных или нанесенных на прозрачную, частично или полностью отражающую основу пленочных структур.

Файлы

FR-uProbe-RU.pdf

Загрузить