Femto
Diener electronic
Германия
Плазменные системы Femto могут комбинироваться в различных вариантах по типу модульной системы.
Области применения
Аналитика, археология, автомобилестроение, отделы исследований и разработок, полупроводниковая техника, мелкосерийное производство, технология пластмасс, медицинская техника, микросистемная техника, сенсорная техника, стерилизация, текстильные технологии
Базовое оснащение
Исполнение корпуса варьируется в зависимости от компонентов/опций
- Объем камеры: 1,9 - 6 литров (в зависимости от версии)
- Электропитание: 230 В для настольных устройств, 400 В / 3 фазы для напольных устройств
Вакуумные камеры
Исполнение корпуса варьируется в зависимости от компонентов/опций
- Высококачественная сталь, круглая форма, с крышкой (прибл. ∅ 100 мм, длина 278 мм или длина 600 мм)
- Высококачественная сталь, прямоугольная форма, дверца на петлях (Ш 103 x Г 285 x В 103)
- Алюминий, прямоугольная форма, дверца на петлях (прибл. ∅ 103 мм x 103 мм, длина 280 мм или 600 мм)
- Кварцевое стекло (UHP), круглая форма с крышкой или дверцей на петлях (прибл. ∅ 95 мм, длина 280 мм или 600 мм)
- Боросиликатное стекло (UHP), круглая форма с крышкой или дверцей на петлях (прибл. ∅ 95 мм, длина 280 мм или 600 мм)
Загрузка
- Носители материала (опция: водяное охлаждение)
- Лодочки из кварцевого стекла
- Вращающиеся барабаны для порошка
- Вращающиеся барабаны для насыпных материалов
- Алюминиевые листы
- Листы из нержавеющей стали
- Боросиликатное стекло
- Кварцевое стекло
Электроды
- Одно- или многоярусные
- RIE
Системы управления
- Полуавтоматика
- Поворотный переключатель
- PCCE (Microsoft Windows CE)
- Компьютерная система управления (Microsoft Windows POS Ready 2009)
Измерение давления
- Датчик Пирани
- Емкостный манометр (исполнение для коррозионных газов)
Таймер
Цифровой
Генераторы
Частоты:
- 40 кГц: мощность 0 - 100 Вт; 0 - 1000 Вт
- 100 кГц: мощность 500 Вт
- 80 кГц: мощность 1000 Вт
- 13,56 МГц: мощность 0 - 200 Вт
- 2,45 ГГц: мощность 0 - 100 Вт; 0 - 300 Вт
- Все генераторы с бесступенчатой регулировкой 0 - 100 %
Вакуумные насосы
Разных размеров и разных производителей (при необходимости с угольным фильтром)
Опции
Комплекты запчастей, измеритель давления, исполнение для коррозионных газов, газовые баллоны, редукторы давления, нагревательная пластина, индикатор температуры, обогреваемая камера, клетка Фарадея, аксессуары для плазменной полимеризации, тестовые чернила, генератор кислорода, медленная подача воздуха, медленная откачка, фланец для проб TEM, техническое/сервисное обслуживание, документация на языке страны эксплуатации, монтаж и обучение на месте эксплуатации. Другие опции по запросу.
Характеристики
Базовое оснащение
Исполнение корпуса варьируется в зависимости от компонентов/опций
- Объем камеры: 1,9 - 6 литров (в зависимости от версии)
- Электропитание: 230 В для настольных устройств, 400 В / 3 фазы для напольных устройств
Вакуумные камеры
Исполнение корпуса варьируется в зависимости от компонентов/опций
- Высококачественная сталь, круглая форма, с крышкой (прибл. ∅ 100 мм, длина 278 мм или длина 600 мм)
- Высококачественная сталь, прямоугольная форма, дверца на петлях (Ш 103 x Г 285 x В 103)
- Алюминий, прямоугольная форма, дверца на петлях (прибл. ∅ 103 мм x 103 мм, длина 280 мм или 600 мм)
- Кварцевое стекло (UHP), круглая форма с крышкой или дверцей на петлях (прибл. ∅ 95 мм, длина 280 мм или 600 мм)
- Боросиликатное стекло (UHP), круглая форма с крышкой или дверцей на петлях (прибл. ∅ 95 мм, длина 280 мм или 600 мм)
Загрузка
- Носители материала (опция: водяное охлаждение)
- Лодочки из кварцевого стекла
- Вращающиеся барабаны для порошка
- Вращающиеся барабаны для насыпных материалов
- Алюминиевые листы
- Листы из нержавеющей стали
- Боросиликатное стекло
- Кварцевое стекло
Электроды
- Одно- или многоярусные
- RIE
Системы управления
- Полуавтоматика
- Поворотный переключатель
- PCCE (Microsoft Windows CE)
- Компьютерная система управления (Microsoft Windows POS Ready 2009)
Измерение давления
- Датчик Пирани
- Емкостный манометр (исполнение для коррозионных газов)
Таймер
Цифровой
Генераторы
Частоты:
- 40 кГц: мощность 0 - 100 Вт; 0 - 1000 Вт
- 100 кГц: мощность 500 Вт
- 80 кГц: мощность 1000 Вт
- 13,56 МГц: мощность 0 - 200 Вт
- 2,45 ГГц: мощность 0 - 100 Вт; 0 - 300 Вт
- Все генераторы с бесступенчатой регулировкой 0 - 100 %
Вакуумные насосы
Разных размеров и разных производителей (при необходимости с угольным фильтром)
Опции
Комплекты запчастей, измеритель давления, исполнение для коррозионных газов, газовые баллоны, редукторы давления, нагревательная пластина, индикатор температуры, обогреваемая камера, клетка Фарадея, аксессуары для плазменной полимеризации, тестовые чернила, генератор кислорода, медленная подача воздуха, медленная откачка, фланец для проб TEM, техническое/сервисное обслуживание, документация на языке страны эксплуатации, монтаж и обучение на месте эксплуатации. Другие опции по запросу.